
PVD鍍膜中PVD是英文”PhysicalVaporDeposition”的縮寫形式,意思是物理氣相沉積。較為成熟的PVD方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式。多弧鍍設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單,容易操作。它的離子蒸發(fā)源靠電焊機電源供電即可工作,其引弧的過程也與電焊類似,具體地說,在一定工藝氣壓下,引弧針與蒸發(fā)離子源短暫接觸,斷開,使氣體放電。
此外,PVD鍍膜涂層顏色較為穩(wěn)定,尤其是在做TiN涂層時,每一批次均容易得到相同穩(wěn)定的金黃色,令磁控濺射法望塵莫及。多弧鍍的不足之處是,在用傳統(tǒng)的DC電源做低溫涂層條件下,當(dāng)涂層厚度達(dá)到0.3μm時,沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難。而且,薄膜表面開始變朦。